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系列直流磁控濺射電源的用途和特點

返回列表 來源: 發布日期:2020-11-05

   MSD系列直流磁控濺射電源
  主要用途:
  直流磁控濺射用于鍍制各種金屬
  主要特點:
  采用先進的電流型開關電源技術,減小輸出儲能元件,同時提高了抑制打火及重啟速度,應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
  具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對于傳統的恒流模式,更能保證鍍膜工藝的重復性。
  具有理想的電壓陡降特性,自動識別偽打火現象,充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
  主要參數可大范圍調節
  可選擇手動控制/模擬量接口控制,可選配RS485通訊接口。
  標簽:中頻磁控濺射電源

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