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MSD系列直流磁控濺射電源
主要用途:
直流磁控濺射用于鍍制各種金屬
主要特點:
采用先進的電流型開關電源技術,減小輸出儲能元件,同時提高了抑制打火及重啟速度,應用在鋁靶鍍膜優勢更為明顯。
具備恒流/恒功率模式可選。恒功率模式相對于傳統的恒流模式,更能保證鍍膜工藝的重復性。
具有理想的電壓陡降特性,自動識別偽打火現象,充分滿足磁控濺射工藝過程的連續性。
主要參數可大范圍調節
可選擇手動控制/模擬量接口控制,可選配RS485通訊接口。
標簽:中頻磁控濺射電源